진공 조작기는 특수 진공 챔버 및 자재 취급 응용 분야에서 웨이퍼나 품목을 이동하거나 배치하는 데 사용됩니다. 견고한 링크가 사용되지 않기 때문에 유연성이 향상됩니다. 일부 진공 조작기에는 장착 장치 또는 엔드 이펙터가 포함되어 있습니다. 다른 것에는 로드 잠금 장치와 워블 스틱이 포함됩니다. 종종 진공 조작기는 진공 챔버와 함께 사용됩니다. 웨이퍼 핸들러 또는 로봇은 웨이퍼나 기판을 PVD, CVD, 플라즈마 에칭 또는 기타 진공 처리 챔버 안팎으로 이동하기 위한 자동화된 유형의 진공 조작기입니다. 진공 챔버를 만들기 위해 진공 모터 또는 진공 내 모터는 원하는 대기압 이하의 압력에 도달할 때까지 용기에서 공기를 물리적으로 펌핑합니다. 진공 챔버에 초고진공이 포함된 경우 초고진공 조작기와 초고진공 모터를 사용해야 합니다.
1. 빨판의 독특한 디자인은 물체를 마음대로 올리거나 내릴 수 있을 뿐만 아니라 빨판의 고정 시트의 모든 방향으로 회전하여 작업을 편리하고 정확하게 만듭니다. 리모콘 디자인은 조작의 편의성을 제공하고 사용자의 안전을 보장합니다.
2. 진공 흡입 기계의 클램프는 강력한 흡착력, 높은 안전성 및 제품 손상 방지 기능을 갖춘 수입 흡입 플레이트를 채택합니다.
3. 진공 크레인은 깨지기 쉽고 들어 올리기 어렵고 표면이 매끄러운 품목을 쉽게 운반하여 효율성을 향상시키고 노동력을 줄이며 기업 비용을 절감할 수 있습니다.